РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЙ ИЗГОТОВЛЕНИЯ, МЕТОДОВ И СРЕДСТВ ПРОЕКТИРОВАНИЯ СВЧ И ФОТОННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА БАЗЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ GAN, GAAS, INP, SI И SIGE, А ТАКЖЕ РАДИОЧАСТОТНЫХ И ОПТОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ И МОДУЛЕЙ НА ЭТОЙ ОСНОВЕ

Цели работы – разработка технологического процесса и изготовление образцов СВЧ транзисторов на базе материала GaN; разработка и измерения ИС широкополосных СВЧ усилителей, трансимпедансных усилителей (ТИУ), драйверов и других устройств; разработка базовой версии комплекта средств проектирования (PDK) для отечественной GaAs технологии ИС; разработка конструкции, технологии сборки и экспериментального образца оптического приемника; создание схемного редактора и модуля электромагнитного моделирования для отечественной САПР СВЧ устройств на основе технологий МИС/ГИС. Задачи работы: Методология работы – прикладные исследования. В ходе выполнения НИР получены следующие основные результаты: – разработаны и исследованы конструкции и технологии сборки, изготовления и измерения характеристик экспериментального образца модуля оптического приемника со скоростью выше 10 Гбит/с. – разработана технология изготовления и лабораторные образцы СВЧ транзисторов на основе 0,25 мкм GaN HEMT процесса. – разработана базовая версия PDK и моделей элементов для GaAs pHEMT-технологии изготовления СВЧ ИС предприятия АО «НПФ «Микран». – разработаны методика проектирования, образцы ИС широкополосных ТИУ и усилителей-драйверов для оптических приемников и передатчиков, ИС усилителей и других устройств для СВЧ приемопередатчиков на базе отечественных технологий. – разработана методика измерения и построения моделей, измерительных плат, измерения характеристик и разработка моделей отечественных фотодиодов и лазерных диодов для оптических приемников и передатчиков. – разработан схемный редактор, выполнена адаптация и подключение схемотехнического симулятора, разработан модуль электромагнитного моделирования для отечественной САПР СВЧ устройств на основе технологий МИС/ГИС. Значимость работы – разработаны конструкции, образцы, методики проектирования, методики проектирования, схемный редактор и модуль электромагнитного моделирования применительно к ИС.