РАЗРАБОТКА НАУЧНЫХ ОСНОВ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ХЕМОРЕЗИСТИВНЫХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО НОСА НА ОСНОВЕ СЛОЖНЫХ НАНОСТРКУТУРИРОВАННЫХ ОКСИДНЫХ МАТРИЦ

Был осуществлен плазмохимический синтез тройной оксидной системы InGaZnO (IGZO). Впервые тонкие пленки системы InGaZnO были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фаза (PECVD) на подложках из высокочистого полированного с-сапфира. Были проведены исследования неравновесной, химически-активной плазмы с помощью метода оптической фотоэмиссионной спектроскопии позволяют определить наличие активных частиц. Были определены оптимальные параметры осаждения. Было проведено исследование влияния энерговклада в плазменный разряд, температуры подложки, состава и стехиометрия плазмообразующих газовых смесей для выбора оптимальных параметров осаждения тонких пленок InGaZnO. Также провели исследования лдля полученных пленок методами: сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), энергодисперсионного анализа (EDX), атомно-силовой микроскопии (АСМ), рентгенофазового анализа (РФА), раман-спектроскопии (КРС). Провели исследования электрических, оптических свойств пленок InGaZnO. Был создан газочувствительный сенсор на базе полученных материалов, и изучены его свойства. Для сенсора определили температурную чувствительность, временную зависимость тока.