Исследование механизмов формирования, микроструктуры, электрофизических и оптических свойств дисперсных, объемных и тонкопленочных функциональных материалов оптоэлектроники и сенсорики

Объектом исследований являются тонкопленочные и объемные керамические материалы на основе широкозонных соединений для таких областей применения, как оптоэлектроника, фотоника, сенсорика и энергетика. Цель работы – изучение особенностей и условий синтеза объемных и тонкопленочных материалов на основе широкозонных оксидов, установление взаимосвязей между технологическими условиями их синтеза, структурой и функциональными свойствами, разработка новых перспективных функциональных материалов и оптимизация технологий их получения. В рамках решения задачи улучшения функциональных свойств прозрачных электродов детально исследовано влияние условий синтеза на структуру, электрические и оптические характеристики слоев оксида индия, легированного вольфрамом, а также исследованы зависимости структуры и электрических характеристик прозрачных проводящих пленок на основе оксида цинка от состава и уровня внесения легирующей донорной примеси (Al, Ga, In), температуры осаждения. В рамках решения задачи разработки новых материалов для оптических сенсорных применений исследовано влияние уровня внесения теллура и режимов термообработок на структуру и люминесцентные свойства керамики оксида цинка. В рамках решения задачи разработки новых материалов для гибкой оптоэлектроники показана возможность низкотемпературного осаждения тонкопленочных прозрачных конденсаторных структур на основе широкозонных оксидных и нитридных материалов. Разработан и запатентован способ формирования тонкопленочных прозрачных проводящих модулированных структур на основе оксидов индия и цинка, обеспечивающий увеличение подвижности свободных носителей заряда за счет снижения их рассеяния на донорных центрах.