Формирование требований к макету установки. Разработка эскизной конструкторской документации на плату питания макета установки. Разработка эскизной конструкторской документации на систему электродов макета установки. Разработка эскизной конструкторской документации на макет установки. Изготовление платы питания макета установки. Изготовление корпуса макета установки. Изготовление электродов макета установки. Сборка и отладка макета установки. Исследования и подбор рабочих газов для низкотемпературной плазмы. Разработка программы и методики испытаний макета / опытного образца.

Объектом исследования является макет установки для проведения испытаний по обработке печатных плат. Цель работы – разработка и изготовление макета установки, а также образца платы питания с настраиваемыми параметрами разряда для макета установки, разработка программы и методики испытаний макета/опытного образца. В ходе выполнения НИОКР получены следующие основные результаты: - Сформированы требования к макету установки, - Разработана и изготовлена плата питания макета установки, - Разработана и изготовлена система электродов макета установки, - Разработан и изготовлен макет установки, - Проведены исследования и подбор рабочих газов для низкотемпературной плазмы, - Разработана программа и методики испытаний макета/опытного образца. Полученные результаты предназначены для применения в области плазменных установок, особенно для внедрения плазменной очистки и активации в процесс производства электронных устройств.