ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ «БЕЗАНОДНЫХ» ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ЛИТИЙ-ИОННЫХ АККУМУЛЯТОРОВ, ВСТРАИВАЕМЫХ В УСТРОЙСТВА КРЕМНИЕВОЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ

Цель работы: Экспериментальное исследование возможности изготовления «безанодных» твердотельных тонкопленочных литиевых аккумуляторов, встраиваемых в устройства кремниевой микроэлектроники и микросистемной техники. В отчете содержатся: - описание конструкции макета твердотельного тонкопленочного литий-ионного аккумулятора (БТТЛА); - описание технологии изготовления макета БТТЛА; - описание испытаний БТТЛА и ТТЛИА с прямой структурой; - описание исследования зависимости разрядной емкости БТТЛА от тока; - описания экспериментальных исследований аморфизации и структурирования поверхности кремния ионным пучком. В ходе выполнения третьего этапа ПНИ получены следующие значимые результаты: 1. Заключительный отчет о НИР; 2. Конструкции встраиваемого БТТЛА с прямой и обратной структурой. 3. Макеты БТТЛА с функциональностью опытного образца. 4. Масочная технология изготовления БТТЛА. 5. Эффект «запирания» свободного лития в объеме литийсодержащих слоев тонким анодным слоем Si@O@Al. 6. Зарядно-разрядные кривые и циклические вольтамперограммы безанодных твердотельных литий-ионных аккумуляторов с прямой и обратной структурой. 7. Закон Пейкерта для безанодных твердотельных литий-ионных аккумуляторов. 8. Температурные зависимости емкости безанодных твердотельных литий-ионных аккумуляторов. 9. Профили циклирования безанодных твердотельных литий-ионных аккумуляторов. 10. Структура и элементный состав слоев кристаллического кремния, аморфизованных пучком ионов Ga+ с энергией 30 кэВ при разных дозах облучения. 11. Технология формирования террасированного рельефа методом эрозии поверхности ионным пучком. 12. Математическая модель формирования террасированного рельефа методом эрозии поверхности ионным пучком.