Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности

РЕФЕРАТ Ключевые слова: фторуглеводороды, новые пористые материалы с низкой константой ди- электрической проницаемости, кремниевые солнечные элементы, аэро- зольный состав атмосферы, уф лазерные импульсы высокой мощности Ключевые слова по-английски: uv laser pulses of high power, aerosol composition of the atmosphere, silicon solar cells, new porous material with a low constant of dielectric permittivit (1) Различные газовые смеси на основе фторуглеводородов активно ис- пользуются в современных плазменных ректорах для микроэлектроники. Для моделирования таких плазменных реакторов были разработаны и про- тестированы наборы электронных и химических реакций для разряда в ок- тофторпропане (C\textsubscript{3}F\textsubscript{8}). (2) Исследована возможность эффективного детектирования сигналов ТГц диапазона частот в широком диапазоне углов падения с помощью ре- зонансных гетероструктур, имеющих ENZ (epsilon-near-zero) области. (3) Развита технология измерения состава аэрозолей и определения по- тенциальных источников загрязнения атмосферы. Получены наборы дан- ных о концентрации черного углерода в эмиссиях сжигания природного ис- копаемого топлива и биомасс, которые позволяют проводить оценки влия- ния источников аэрозольных эмиссий в пригородах крупных городских аг- ломераций. (4) Проведены исследования свойств прозрачных проводящих оксидов на основе оксида индия, осажденных на кремний методом ультразвукового спрей-пиролиза, в зависимости от содержания примесей металлов в плен- кообразующем растворе. Показано, что большое влияние на электрические и оптические свойства пленок оксидов, а также на свойства гетероперехода TCO/Si оказывают малые количества натрия в пленкообразующем растворе.