Изготовление макетных образцов МЭМС ИК-источников излучения. разработка программы и методики исследования. проведение экспериментальных исследований

В рамках III этапа НИР выполнены следующие работы: Проведены экспериментальные исследования технологического процесса локального формирования эмиссионного покрытия на основе MoSi2 в области микронагревателя ИК-источника. С использованием оборудования Центра коллективного пользования НПК «Технологический центр» проведены экспериментальные исследования тестовых макетов ИК-источников излучения. Подготовлены и опубликованы две статьи по теме исследования в научно-технических журналах. Подготовлены тезисы доклада в научно-практической конференции, которые опубликованы в сборнике конференции. В заключении обобщены основные выводы по результатам оценки достижимости намеченных технических характеристик.