Разработка технологического процесса изготовления элементов энергонезависимой резистивной памяти для реализации на базе лаборатории опытных технологий микро- и наноэлектроники

Объектами исследований являются структуры «металл-оксид-металл» элементов энергонезависимой резистивной памяти. Целью работы является разработка и апробация научно-технологических решений по изготовлению структур «металл-оксид-металл» элементов энергонезависимой резистивной памяти для реализации на оборудовании Лаборатории опытных технологий микро- и наноэлектроники. При выполнении работ использовано технологическое оборудование и аттестованные специальные процессы осаждения, современное аналитическое оборудование мирового уровня, поверенные/калиброванные средства измерения. Выбранные способы и используемые инструменты соответствуют поставленным научно-техническим задачам. Результаты работы: 1. Осуществлен выбор и обоснование научно-технологических решений по изготовлению мемристивных структур «металл-оксид-металл» элементов энергонезависимой резистивной памяти; 2. Проведена апробация разработанных научно-технологических решений в рамках технологических операций по формированию отдельных слоев мемристивных структур «металл-оксид-металл» элементов энергонезависимой резистивной памяти; 3. Разработан комплект технологической документации на изготовление мемристивных структур с параметрами, необходимыми для реализации макетов микросхем памяти и нейроморфных вычислительных систем на оборудовании Лаборатории опытных технологий микро- и наноэлектроники. Новизна выбранных способов решения поставленных задач состоит в выборе новых научно-технологических решений по созданию мемристивных наноструктур, который при этом увязан с необходимостью адаптации этих решений в конкретные электронные схемы. Область применения: научно-технические результаты предназначены для применения в вычислительной технике, технологиях обработки больших данных, а также другими организациями, заинтересованными в выполнении научных исследований и опытно-конструкторских работ в данной области. Значимость работы состоит в получении научно-технического задела, необходимого для последующих прикладных научных исследований и опытно-конструкторских работ, направленных на разработку и опытно-конструкторскую реализацию элементной базы.