ИКРБС
№ 325022411738-0Составная часть опытно-конструкторской работы по теме: «Разработка и изготовление опытных образцов установок ионно-лучевого травления» (промежуточный)
31.12.2024
Представлены пояснения к разработанному эскизному проекту и рабочей конструкторской документации ключевых узлов опытного образца установки ионно-лучевого травления, подготовленному отчёту о патентных исследованиях, программа обеспечения надёжности и программа обеспечения безопасности, а также комплексная программа экспериментальной отработки.
ГРНТИ
45.53.32 Электротехническое оборудование электрофизических установок
Ключевые слова
многослойные структуры
высокоанизотропное травление
вакуумная установка
ионно-лучевое травление
Детали
НИОКТР
Заказчик
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ФЕРРИ ВАТТ"
Исполнитель
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ЛАБОРАТОРИЯ 23"
Бюджет
Средства хозяйствующих субъектов: 14 246 400 ₽
Похожие документы
Составная часть опытно-конструкторской работы по теме: «Разработка и изготовление опытных образцов установок ионно-лучевого травления»
0.966
НИОКТР
Разработка и изготовление опытных образцов установок ионно-лучевого травления и ионно-лучевого распыления
0.913
НИОКТР
Составная часть опытно-конструкторской работы по теме: "Эскизное проектирование ИК ПРГК и элементов конструкции"
0.913
НИОКТР
Отчёт о научно-исследовательской и опытно-конструкторской работе по теме «Разработка основных узлов установки для СЭЛПП» (заключительный, этап 2)
0.904
РИД
Отчет о научно-исследовательской и опытно-конструкторской работе "РАЗРАБОТКА ОСНОВНЫХ УЗЛОВ УСТАНОВКИ ДЛЯ СЭЛПП" этап 2 (заключительный)
0.900
ИКРБС
Отчет о НИОКР «Разработка автоматизированной системы позиционирования к установке для обработки изделий сложной формы импульсными плазменными потоками» (заключительный), Инв. №2023/11
0.897
РИД
Разработка и изготовление экспериментальных образцов управляемых малогабаритных пироэлектрических источников ионизирующих излучений нового поколения для применения в обычных и нестандартных условиях
0.892
ИКРБС
"Разработка комплекта конструкторской документации на источник ионов. Резка листового металлопроката."
(промежуточный)
0.892
ИКРБС
Составная часть опытно-конструкторских работ "Разработка и изготовление комплекта установок ионной имплантации (высокоэнергетическая) и (среднетоковая) для полупроводникового производства"
0.892
НИОКТР
Отчет о НИОКР «Разработка системы позиционирования размещенной в рабочей камере установки для обработки изделий сложной формы импульсными плазменными потоками. Этап 2022 г.» (заключительный), Инв.№НИОКР/2022/1 от 01.11.2022
0.888
РИД