Повышение количества поддерживаемых технологических маршрутов производства интегральных схем

Объект исследования – технология проектирования элементной базы наноэлектронных систем с размерами транзисторов 28нм и ниже, включая систему сбора, обработки и сопровождения проектов. Цель работы – совершенствование цикла экспериментального производства интегральных схем на базе отечественных микроэлектронных производств с помощью организации сервиса по системе Multi-Project Wafer (MPW) – расположению на одной пластине набора интегральных схем, разрабатываемых разными научными группами. В работе приведены результаты исследований в следующих областях: построение комплексных маршрутов полного цикла экспериментального изготовления СВЧ интегральных схем и фотошаблонов для сервиса MPW; апробация работы сервиса MPW путем выполнения научно-технических проектов по производству прототипов интегральных цифро-аналоговых и СВЧ схем на отечественных полупроводниковых производственных предприятиях; разработка СФ-блоков для производства интегральных схем на отечественных полупроводниковых производственных предприятиях; разработка методов проектирования, производства фотошаблонов и их верификации для технологии 180нм АО Микрон; совершенствование информационной системы сервиса MPW, позволяющей автоматизировать подготовку заявок на изготовление, включая обмен информацией о проектах.