Исследование СВЧ разряда в водороде в условиях больших удельных энерговкладов и высокой степени диссоциации

Проект направлен на исследование СВЧ разряда в водороде в условиях больших удельных энерговкладов и высокой степени диссоциации. СВЧ разряд в водороде с небольшими добавками углеродосодержащего газа используется в реакторах для плазмохимического осаждения алмаза из газовой фазы (метод CVD – chemical vapor deposition). Для повышения скорости роста и качества алмаза применяются реакторы, работающие при высоких удельных энерговкладах в газоразрядную плазму, до 1000 Вт/куб.см. Оценки показывают, что при таких условиях должна наблюдаться большая степень диссоциации водорода, которая существенным образом влияет на кинетические процессы в плазме. Совершенствование CVD технологии получения алмаза невозможно без решения фундаментальной задачи развития теоретического понимания закономерностей такого разряда и, прежде всего, разработке модели, адекватно описывающей разряд при таких условиях поддержания. Основной целью проекта является разработка двухмерной самосогласованной численной модели СВЧ разряда в водороде в условиях больших удельных энерговкладов и высокой степени диссоциации. В ходе выполнения проекта планируется проведение экспериментальных исследований СВЧ разряда в водороде. Полученные новые экспериментальные данные о параметрах разряда при больших удельных энерговкладах послужат основой для проверки и коррекции модели. Таким образом, построение численной модели будет постоянно контролироваться с помощью специально проводимых экспериментов.