Разработка пленок прозрачных проводящих оксидов для перспективных кремниевых солнечных элементов: применение методов электростатического ультразвукового спрей пиролиза и отжига в водороде

В данном проекте предлагается продолжить развитие способа выращивания пленок прозрачных проводящих оксидов (ТСО) применительно к солнечным элементам (СЭ) из c-Si, в частности: 1) разработать процесс выращивания пленок ТСО (ZnO:Al и ZnO:In, In2O3:F и In2O3:Sn) методом электростатического ультразвукового спрей пиролиза (ES-USP) применительно к СЭ из c-Si. По сравнению с методом USP, ES-USP должен повысить производительность процесса за счет увеличения скорости роста пленки ТСО, а также снизить стоимость процесса за счет значительного снижения потерь пленкообразующих материалов; 2) разработать процесс отжига TCO/Si структур в водороде применительно к СЭ из c-Si с целью улучшения их параметров.Новизна проекта связана с тем, что: (i) ранее метод ES-USP для получения СЭ из c-Si с пленками ТСО не использовался, а также (ii) отжиг в водороде изучен недостаточно. Поэтому полученные при выполнении проекта результаты внесут вклад в восполнение этого пробела и позволят увеличить КПД СЭ из c-Si, изготовленных с использованием пленок ТСО.