Математическое моделирование потока ВЧ-плазмы пониженного давления с учетом метастабильных атомов в струе

Плазма высокочастотных (ВЧ) разрядов пониженного давления (p=13.3-133 Па) с продувом газа эффективно применяется для модификации поверхностей различных материалов, таких как полимеры, сталь, титан, мех, кожа, и др. с целью улучшения их качественных свойств. Для усовершенствования процесса обработки материалов необходим расчет характеристик потока плазмы с помощью математической модели, учитывающей газодинамические процессы, наличие заряженных частиц в струе (электронов и ионов), метастабильных атомов. Данные параметры существенно влияют на процесс обработки материалов. Определение основных закономерностей и создание рекомендаций позволят улучшить процесс ВЧ-плазменной обработки ряда материалов. Проект направлен на исследование потока ВЧ-плазмы пониженного давления с учетом метастабильных атомов в струе методами математического моделирования.