НИОКТР
№ АААА-А16-116021110114-5

Исследование формирования высокоупорядоченных термохимических лазерно-индуцированных периодических структур на металлических пленках

29.01.2016

Проект направлен на исследование условий формирования высокоупорядоченных термохимических лазерно-индуцированных периодических поверхностных структур на пленках различных металлов, используемых в высокотехнологичных отраслях промышленности, методов повышения скорости обработки поверхности, а также на исследование возможности селективного травления металлов, при использовании термохимических ЛИППС в качестве маски в сочетании с различными травителями. Также одной из основных задач проекта является развитие теоретической модели формирования термохимических ЛИППС, согласующейся с экспериментально полученными закономерностями их формирования в условиях неосесимметричного распределения интенсивности и в стадии перехода в режим абляции окисла.
ГРНТИ
29.33.29 Преобразование частот методами нелинейной оптики
Ключевые слова
ЛАЗЕРНО-ИНДУЦИРОВАННЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТНЫЕ СТРУКТУРЫ
ФЕМТОСЕКУНДНОЕ ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ОКСИДНЫЕ ПЛЕНКИ
Детали

Начало
03.12.2015
Окончание
31.12.2018
№ контракта
31 16-32-60096/15
Заказчик
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "РОССИЙСКИЙ ФОНД ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ"
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук
Бюджет
Средства фондов поддержки научной и (или) научно-технической деятельности: 5 100 000 ₽
Похожие документы
Формирование субволновых периодических структур на пленках и многослойных средах фемтосекундным лазерным излучением
0.934
НИОКТР
Формирование субволновых периодических структур на пленках и многослойных средах фемтосекундным лазерным излучением
0.934
НИОКТР
Разработка методов управляемого формирования термохимических лазерно-индуцированных поверхностных периодических структур для современных устройств фотоники
0.928
НИОКТР
Электрофизика и оптика лазерно-индуцированных нанокластерных тонкопленочных структур с управляемой топологией на твердой поверхности – размерные эффекты, квантовая проводимость и связанные состояния электронов
0.911
НИОКТР
Формирование лазерно-индуцированных периодических поверхностных структур на пленках металлов и полупроводников
0.911
Диссертация
Формирование субволновых периодических структур на пленках и многослойных средах фемтосекундным лазерным излучением. Этап 1 (промежуточный)
0.910
ИКРБС
Разработка лазерного синтеза металлоуглеродных соединений для реализации эффекта гигантского комбинационного рассеяния
0.909
ИКРБС
Изучение механизмов локализованного лазерно-индуцированного синтеза наноструктурированных осадков для создания электрохимических бесферментных и газовых сенсоров.
0.907
НИОКТР
Новые принципы создания наноструктурированных тонкопленочных покрытий на основе лазерно- индуцированной самоорганизации для перспективных устройств оптоэлектроники и нанофотоники
0.905
НИОКТР
Лазерное структурирование поверхности тонких пленок халькогенидов металлов с изменяемыми электрофизическими свойствами для разработки фундаментальных основ создания современной элементной базы полупроводниковой техники
0.904
НИОКТР