Теоретическое и экспериментальное исследование динамики новых типов микромеханических гироскопов

Создание высокоточных микромеханических гироскопов, построенных на новых физических принципах, конструкционных материалах и технологиях нано- и микроэлектромеханических систем, открывают принципиально новые возможности в задачах навигации и управления движением авиационных, космических и транспортных средств. Переход от планарной технологии изготовления к объемной трехмерной структуре расположения чувствительных элементов позволит реализовать интегрирующий режим работы, основанный на эффекте инерции упругих волн колебаний осесимметричного тела. Методы увеличения точности измерений микромеханического гироскопа связаны с совершенствованием плазмохимических процессов травления сверхвысокоаспектных структур, с применением аналитических методов механики и оптимальной фильтрации первичных измерений.Использование новых конструктивных материалов и схем потребует решения новых задач динамики резонатора гироскопа в виде тонких упругих оболочек и периодических структур, учитывающих неизотропные упругие свойств конструкционного материала, влияние инструментальных погрешностей изготовления и условия функционирования на подвижном основании.Создание новых технологий и новых типов датчиков инерциальной информации позволит обеспечить удовлетворение увеличивающегося спроса на миниатюрные высокоточные системы навигации и ориентации транспортных, авиационных и космических систем.