Ионная и электронная стимуляция процес-сов на поверхности твердого тела, в том числе плазменные технологии синтеза функциональных покрытий, включая метастабильные формы углерода

Синтез карбиноподобных углеродных структур и их анализ методами электронной, колебательной спектроскопии и просвечивающей микроскопии. Исследования автоэмиссионных свойств низкоразмерных углеродных структур. Синтез и исследование электропроводности углеродных пленок, модифицированных металлами. Расчет электронного транспорта в гетероструктурах на основе углерода. Разработка плазменного реактора на основе поверхностного СВЧ разряда для изучения взаимодействия низкотемпературной плазмы с поверхностью твердого тела. Оптимизация работы установки на основе геликонного источника плазмы и распылительной системы (магнетрона или дугового источника) для ионно-стимулированного напыления функциональных наноструктурированных покрытий. Сравнительное исследование процессов формирование наноструктурированных функциональных слоёв при работе только распылительных систем и их совместной работе с геликонным источником. Получение диэлектрических структур при различных параметрах распылительного и геликонного источников.