Получение автоэмиссионных катодов на основе графена

Целью настоящей работы является разработка конструктивно-технологических методов получения углеродных наноструктур на основе каталитических плазмо-стимулированных процессов для приборов и устройств автоэмиссионной электроники.Для решения поставленной задачи, требуется создание элементов субмикронных размеров и их интеграция в технологии и устройства традиционной микроэлектроники. Для этого необходимо:разработать оборудование с независимым управлением термической и плазменной обработкой, что позволит эффективнее управлять процессом роста углеродных наноструктур;разработать технологические процессы позволяющие получать автоэмиссионные среды на пластинах диаметрами не менее 3-4 дюймов с однородными параметрами по площади – для чего необходимо реализовать протекание процесса роста при низких давлениях;необходимо реализовать возможность формирования каталитических наноразмерных областей непосредственно в камере роста углеродных наноструктур, чтобы предотвратить окисление катализатора, а так же понизить стоимость процесса. В результате выполнения проекта будет подана заявка на изобретение в РФ соответствующая всем условиям патентоспособности.