НИОКТР
№ АААА-А16-116041910045-2Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом локального ионно-стимулированного осаждения
11.04.2016
В рамках выполнения НИР планируется проведение теоретических и экспериментальных исследований процессов формирования элементов вакуумной автоэмиссионной наноэлектроники методом фокусированных ионных пучков с параметрами, обеспечивающими их применение в системах обработки, хранения и передачи информации. Для формирования и исследования элементов вакуумной автоэмиссионной наноэлектроники будут использованы технологии локального ионно-стимулированного осаждения материалов из газовой фазы, локального ионно-лучевого травления материалов с использованием фокусированных ионных пучков, растровой электронной микроскопии, технологии магнетронного и импульсного лазерного осаждения тонких пленок, методик сканирующей зондовой микроскопии.
ГРНТИ
47.13.33 Электронно-ионноплазменные технологии электронного производства
47.13.09 Технология и оборудование для производства электровакуумных и газоразрядных приборов
47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Ключевые слова
НАНОТЕХНОЛОГИИ
ФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК
ВАКУУМНАЯ НАНОЭЛЕКТРОНИКА
АВТОЭМИССИОННАЯ НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Детали
Начало
14.03.2016
Окончание
31.12.2017
№ контракта
14.Y30.16.6163-МК
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Исполнитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Бюджет
Средства федерального бюджета: 1 200 000 ₽
Похожие документы
Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом локального ионно-стимулированного осаждения
1.000
НИОКТР
Исследование и разработка методов синтеза углеродных наноматериалов и принципов формирования элементов автоэмиссионной наноэлектроники на их основе
0.941
ИКРБС
Исследование и разработка технологических процессов атомно-слоевого осаждения с использованием разрабатываемых в РФ материалов для современных технологий микроэлектроники
0.931
НИОКТР
Исследование и разработка физико-технологических методов создания, диагностики и приборно-технологического моделирования элементов микро- и наноэлектроники
0.926
ИКРБС
Исследование и разработка конструктивно-технологических методов оптимизации параметров автоэмиссионных структур на основе углеродных наноматериалов
0.918
НИОКТР
Разработка цифровой модели и изготовление прототипа широкоапертурного источника низкоэнергетичных ионов для технологии прецизионного контролируемого атомно-слоевого осаждения и травления материалов микро- и наноэлектроники
0.914
НИОКТР
Исследование и разработка конструктивно-технологических методов оптимизации параметров автоэмиссионных структур на основе углеродных наноматериалов
0.913
ИКРБС
Исследование и разработка методов синтеза углеродных наноматериалов и принципов формирования элементов автоэмиссионной наноэлектроники на их основе
0.913
НИОКТР
Создание и изучение интегральных устройств оксидной наноэлектроники с использованием зондовых нанотехнологий.
0.909
ИКРБС
-Разработка модельного аппарата физико-технологических процессов, использующих атомарно-слоевое осаждение (ФТП АСО)при формировании структурообразующих слоев функциональных элементов микровакуумной наноэлектроники на основе массивов УНТ
0.908
НИОКТР