Композиционные наноструктуры металл-полупроводник-диэлектрик на сверхгладкой кристаллической поверхности

Основная цель планируемых исследований состоит в выяснении физических механизмов, ответственных за специфику оптического отклика сверхтонких пленок с учетом их неоднородности, обусловленной шероховатостью, и особенностей строения композиционных наноструктур. В рамках проекта будут разработаны алгоритмы и компьютерные программы полуаналитического и численного расчета линейного оптического отклика тонких пленок металлов, оксидов, полупроводниковых соединений с учетом шероховатости подложки, а также композитных пленок диэлектрик/металл и полупроводник/металл, а также проведены соответствующие расчеты. Будут отобраны и выращены тонкие диэлектрические, полупроводниковые и металлические кристаллические пленки методами термического и магнетронного распыления, твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии, термохимической нитридизации. Также будут сформированы упорядоченные наноструктуры с параметрами, определенными на основании численных расчетов, методами самоорганизации на наноструктурированных подложках и механической нанолитографии, и кроме этого - композитные пленки диэлектрик/металл и полупроводник/металл. В ходе работы будет проведен комплексный анализ поверхности подложки и строения растущей пленки и композитной наноструктуры на всех этапах подготовки образцов с использованием методов зондовой и электронной микроскопии, рентгеновского рассеяния и дифракции электронов.