Разработка аддитивных технологий создания элементной базы фотоники, нанофотоники и микро-наноэлектроники

Проект направлен на решение актуальнейшей современной проблемы – разработку аддитивной технологии формирования элементной базы фотоники, нанофотоники и микро- наноэлектроники. Основное внимание будет уделено трехмерным элементам, которые не могут быть сформированы другими технологиями. При разработке будет уделено внимание не только микро, но и наноэлементам. При этом в дополнение к аддитивной технологии будет использоваться наноштамповая (наноимпринт) технология. Разработанная технология будет продемонстрирована на примере формирования оригинальных приборов фотоники и микроэлектроники, в том числе, управляемых фотонных кристаллов, 3D активных перестраиваемых элементов с использованием структур на основе двуокиси ванадия, испытывающих фазовый переход полупроводник-металл, 3D органических светодиодов и солнечных батарей. Будут разработаны аддитивные технологии микро- и наноэлектроники, в том числе, 3D вакуумной микроэлектроники, гибкие печатные схемы, 3D сенсоры, чипы для персональной медицины, графеновые полевые нанотранзисторы. Будет разработана аддитивная технология формирования биосовместимых полилактидных и композиционных 3D-каркасных структур сложной морфологии, содержащих микро- и нанорельеф, и предназначенных для регенеративной медицины. Будут также разработаны сопутствующие технологии, например, технология формирования проводящих дорожек, технология сухого отсоединения от подложки сверхтонких слоев.