Исследование тенденций развития и конструктивно-технологических методов изготовления тонкопленочных магниторезистивных наноструктур с магнитострикционным эффектом для создания на их основе перспективных микросистем

Объект исследования: методы изготовления тонкопленочных магниторезистивных наноструктур с магнитострикционным эффектом. Цель работы: разработка конструктивно-технологических методов изготовления тонкопленочных наноструктур с магнитострикционным эффектом для создания на их основе перспективных микросистем.Планируемые результаты: прогнозно-аналитический обзор современных методов создания тонкопленочных наноструктур с магнитострикционным эффектом, эскизная конструкторская и технологическая документация на макет микросистем, технологический маршрут изготовления макетов, методика измерения магниторезистивного и магнитострикционного эффекта в получаемых тонкопленочных наноструктурах, протоколы измерения электрофизических характеристик макетов микросистем, экспериментальные образцы наноструктур с магнитострикционным эффектомОбласть применения: микросистемы на основе магнитострикционных наноструктур смогут быть востребованы в области дефектоскопии ферромагнитных предметов, смогут быть использованы в качестве первичных преобразователей для датчиков перемещения, счетчиков количества оборотов зубчатых колес