Исследование механизмов влияния примесей редкоземельных элементов на микроструктуру, селективность и стабильность параметров газовых сенсоров на основе металлоксидных полупроводников

Целью НИР является исследование влияния модифицирования наночастицами редкоземельных элементов, введенными в объем тонких нанокристаллических пленок металлооксидных полупроводников в процессе магнетронного напыления, на характеристики изготовленных на их основе миниатюрных сенсоров токсичных и взрывоопасных газов. Преполагается развитие принципиально новых теоретических подходов к выбору каталитических добавок для управления свойствами сенсоров. Для достижения этих целей будут выполнены исследования, направленные на использование методов магнетронного распыления мозаичных мишеней, содержащих на их поверхности кусочки редкоземельных элементов (Y, Sc), 3d – металлов (Ni, Co), для формирования тонких (около 100 нм) нанокристаллических пленок диоксида олова. Будут проведены комплексные исследования микроструктуры, электрических и газочувствительных характеристик металлоксидных пленок с добавками перечисленных элементов, полученных методами магнетронного напыления и микроэлектронной технологии. Будут уточнены механизмы каталитической активности изучаемых наночастиц с целью повышения селективной чувствительности и стабильности сенсоров токсичных и взрывоопасных газов. Предполагается создание методами нанотехнологий и проведение испытаний селективных и стабильных сенсоров.