Обеспечение проведения научных исследований (16.6434.2017/ИТР)

Работа выполняется в рамках государственного задания образовательным организациям высшего образования, подведомственным Минобрнауки России, в сфере научной деятельности. Целью работы является обеспечение проведения научных исследований по направлениям: нанофотоника, плазмоника и диффракционная оптика. В качестве основного научного оборудования в работе используется растровый электронный микроскоп Carl Zeiss Supra 25 и нанотехнологическая приставка электронно-лучевой литографии Xenos XeDraw 2. На этом научном оборудовании будут проводиться ключевые технологические операции, связанные с электронно-лучевой литографией, экспонированием резиста, химическим проявлением, контроль параметров микрорельефа с использованием растровой электронной микроскопии. В задачи работы входит проведение указанных технологических операций с использованием перечисленного выше оборудования, а также стандартного оборудования лаборатории, проведение контроля качества изготовления дифракционного микрорельефа и оценки его метрологических характеристик. Сопутствующим является проведение необходимых регламентных и профилактических работ.