Развитие метода сканирующей вакуумной микроскопии на основе полого микроострия для исследования мезоскопических и наноразмерных структур

Развитие нового типа микроскопии на основе сканирования поверхности в вакууме пустотелым остриём (капилляром), сквозь который пропущен пучок заряженных частиц. Полое остриё может выступать также в качестве перемещаемого в пространстве коллиматора пучков заряженных частиц (ионов или электронов), нейтральных атомов или молекул, коротковолновых квантов в области мягкого рентгена, а также служить в качестве сканирующего зонда для получения классического атомно-силового профиля поверхности.