НИОКТР
№ АААА-А17-117103040054-8-Разработка модельного аппарата физико-технологических процессов, использующих атомарно-слоевое осаждение (ФТП АСО)при формировании структурообразующих слоев функциональных элементов микровакуумной наноэлектроники на основе массивов УНТ
16.10.2017
Разработка модельного аппарата физико-технологических процессов, использующих атомарно-слоевое осаждение (ФТП АСО) при формировании структурообразующих слоев функциональных элементов микро-вакуумной наноэлектроники на основе массивов УНТ. В результате выполнения работы будут исследованы особенности и механизмы ФТП АСО; разработан модельный аппарат ФТП АСО, обеспечивающий осуществлять формирование диэлектрических, проводящих слоев ФЭ, модифицирования электрофизических свойств массивов УНТ, с заведомо прогнозируемыми физико-химическими свойствами.
ГРНТИ
29.19.03 Теория конденсированного состояния
Ключевые слова
АТОМАРНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ (АСО)
ХЕМОСОРБЦИЯ
УГЛЕРОДНЫЕ НАНОТРУБКИ (УНТ)
ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНООГИИ (ВПТ)
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ГАЗО-ФАЗНОЕ ТРАВЛЕНИЕ (ГФТ)
МИКРО-ВАКУУМНАЯ НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ (ФЭ)
Детали
Начало
01.01.2017
Окончание
31.12.2018
№ контракта
0004-2015-0003
Заказчик
Федеральное агентство научных организаций
Исполнитель
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ НАНОТЕХНОЛОГИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Бюджет
Средства федерального бюджета: 20 767 930 ₽
Похожие документы
Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом локального ионно-стимулированного осаждения
0.908
НИОКТР
Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом локального ионно-стимулированного осаждения
0.908
НИОКТР
Исследование и разработка технологических процессов атомно-слоевого осаждения с использованием разрабатываемых в РФ материалов для современных технологий микроэлектроники
0.907
НИОКТР
Проектирование 3D моделей отдельных узлов прототипа технологической платформы атомно-слоевого осаждения в САПР, объединение отдельных моделей в одно целое. Компьютерное моделирование процессов теплопереноса и молекулярного течения в реакционной зоне. Разработка эскизной конструкторской документации на прототип технологической платформы атомно-слоевого осаждения
0.903
ИКРБС
- Фундаментальные исследования в области разработки технологий создания структур микро – и наносистемной техники -2019
0.902
НИОКТР
Исследование и разработка физико-технологических методов создания, диагностики и приборно-технологического моделирования элементов микро- и наноэлектроники
0.902
ИКРБС
Выбор направления исследования
0.901
ИКРБС
Разработка методики и лабораторной технологии выполнения ионно-ассистируемых процессов магнетронного нанесения пленок, используемых в устройствах нано- и микросистемной техники
0.899
НИОКТР
Разработка конструктивных решений установки и обоснование основных проектировочных решений. Разработка источника плазмы для PEALD процессов. Изготовление опытных образцов элементов газовой системы. Разработка стенда для испытания сборки газовой линии. Разработка программы и методики проведения испытаний газовой системы. Испытания элементов газовой системы на стенде. Изготовление базовых узлов установки атомно-слоевого осаждения. Сборка и испытание базовых узлов установки атомно-слоевого осаждения
0.899
ИКРБС
Разработка макета установки для автоматизированного формирования и нанесения функциональных пленок наноматериалов на основе метода аэрозольно-ультразвукового распыления коллоидных растворов
0.899
ИКРБС