Разработка новой технологии создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа

Объект исследования: новая технология создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа. Цель: разработка новой технологии изготовления источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок, состоящей: - из матрицы катодных узлов, эмитирующих пучки электроны; - системы управления пучками электронов; - матрицы анодных узлов с прострельной бериллиевой мишенью, генерирующей локальные лучи мягкого рентгеновского излучения.Разрабатываемая матрица микрофокусных рентгеновских трубок является основой для создания безмасочного рентгеновского нанолитографа.В результате выполнения проекта предполагается: - разработка технологических маршрутов изготовления составных конструктивных элементов источника мягкого рентгеновского излучения;- разработка эскизной конструкторской документации;- разработка и апробация технологии и конструкции соединения катодного и анодного узлов.