Экспериментальное и численное исследование теплофизических особенностей газоразрядной плазмы с микрочастицами

Цель проекта - экспериментальное и теоретическое изучение теплофизических особенностей газоразрядной плазмы, возникающих при взаимодействии с ней микрочастиц конденсированной дисперсной фазы. В экспериментальной части проекта будет проводиться измерение электрических параметров тлеющего разряда при введении в разряд микрочастиц, и с помощью оптических методов регистрации будет определяться форма, структура и количество микрочастиц, удерживаемых в пылевых структурах. Будут измерены параметры разряда, определяющие изменение формы образующихся пылевых структур от сплошных к структурам с внутренней границей (войдом). На основе экспериментальных данных будет развита диффузионно-дрейфовая модель взаимодействия плазмы разряда с пылевыми структурами с учетом джоулева тепловыделения в разряде и теплопроводности газа. Будут получены данные по влиянию пылевых структур, состоящих из частиц различного размера, на распределение температуры и компонентов плазмы (электронов, ионов и возбужденных атомов) и на электрическое поле разряда в неоне. Из моделирования экспериментально полученных распределений пылевых частиц будут получены данные о величине силы термофореза в зависимости от параметров системы. Область применения результатов проекта – совершенствование технологий процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы, нанесения функциональных покрытий, в том числе на субмикронные и наноразмерные частицы (PECVD, PVD).