Исследование роста, структуры и свойств пленок состава LiNbO3, полученных в процессе высокочастотного магнетронного распыления и последующих обработок

Проект направлен на решение фундаментальной проблемы – кинетические закономерности и механизмы роста в условиях плазменной среды, а также механизмов структурной перестройки в процессах отжига и пластической деформации в пленках ниобата лития. Задачи исследования на решение которых направлен проект: получение кинетических характеристик роста, раскрытие структурных и ориентационных механизмов по мере роста пленок состава LiNbO3 на ориентирующих и неориентирующих подложках в условиях плазменной среды (высокочастотное магнетронное распыление); исследование рекристаллизационных процессов в пленках ниобата лития при изотермическом отжиге и быстром отжиге в результате импульсной фотонной обработки; исследование структуры внутренних поверхностей раздела пленок ниобата лития (межзеренные границы), исследование их роли в прочностных свойствах ниобата лития; исследование структуры гетеропереходов подложка-пленка ниобата лития. Полученные результаты расширят представления о закономерностях формирования сложных оксидов в ионно-плазменных процессах, механических свойствах нанокристаллических пленок ниобата лития. Результаты исследования могут быть использованы в разработке технологии формирования кольцевых резонаторов, акустоэлектронных устройств и ячеек энергонезависимой памяти на основе ниобата лития.