Создание оборудования и технологий высокоскоростного осаждения металлических покрытий с использованием магнетронныхраспылительных систем

Цель исследований – создание теоретических основ высокопроизводительной технологии для получения модифицирующих покрытий при одновременном обеспечении необходимых функциональных свойств и управления ими с использованием плазмы магнетронных распылительных систем (МРС). Ожидается повышение производительности на один – два порядка по сравнению с возможностями существующих МРС. Предполагается, что оно может быть достигнуто за счёт «включения» испарения на поверхности мишени МРС дополнительно к распылению. Для решения этой задачи будут использованы сильноточные импульсные МРС, потенциал которых изучен недостаточно. Будут исследованы механизмы переноса энергии и вещества в системе «мишень – подложка» и выявлена связь между параметрами обработки и свойствами покрытий. Будут разработаны новое оборудование и технология, определены их оптимальные параметры с точки зрения качества покрытий, производительности и энергоэффективности их получения. Разработка подобной технологии и оборудования имеет большой практический интерес для решения ряда задач по созданию новых материалов в области силовой электроники, машиностроения, космического материаловедения и др. Научная значимость проекта состоит в создании нового уникального плазменного оборудования и технологии для модифицирования материалов, с учетом фундаментальных представлений о диссипации энергии плазмы и массопереносе в системе «мишень-подложка».