Исследование газового разряда, поддерживаемого вблизи подложки при помощи СВЧ излучения миллиметрового диапазона длин волн в атмосфере водорода с добавками углеродосодержащего газа

Проект направлен на исследование характеристик газового разряда, поддерживаемого над подложкой СВЧ излучением миллиметрового диапазона длин волн, в широком диапазоне внешних условий. Для этого будут использованы ранее разработанная и верифицированная численная модель. В качестве базовой будет использована смесь водорода с небольшими добавками углеродсодержащего газа. Данная смесь на практике используется в плазмохимических реакторах для осаждения алмаза из газовой фазы.С практической точки зрения проект связан с технологией плазмохимического осаждения из газовой фазы, используемой при получении алмазных пленок и пластин. На данный момент все еще остаются не решенными технические и исследовательские задачи, направленные на поиск эффективных источников газового разряда и оптимальных условий его поддержания. Совершенствование данной технологии невозможно без решения фундаментальной задачи определения закономерностей поведения газового разряда при варьировании условий его поддержания.Основной целью проекта является получение зависимостей внутренних характеристик газового разряда, поддерживаемого СВЧ излучением над подложкой, от внешних условий. Для достижения цели в ходе выполнения проекта планируется проведение серии численных экспериментов и теоретического анализа полученных результатов.Реализация данного проекта, с практической точки зрения, будет способствовать развитию технологии плазмохимического синтеза алмаза, а с теоретической точки зрения расширит знания и понимание фундаментальных законов физики газоразрядных процессов.