Электронно-лучевое нанесение теплопроводящих керамических покрытий для устройств микроэлектроники.

30.07.2018

Цель проекта состоит в создании научных основ электронно-лучевого метода осаждения теплопроводящих керамических покрытий различного назначения для устройств микроэлектроники. Новизна идеи заключается в предложении использовать электронно-лучевое испарение алюмонитридной и алюмооксидной керамик в азотной или кислородной среде (давление 5-30 Па) с применением уникального устройства – форвакуумного плазменного источника электронов. Междисциплинарность проекта обеспечивается сочетанием пучково-плазменного метода осаждения покрытий и достижением параметров покрытий, в наиболее полной степени удовлетворяющим требованиям их использования для решения задач развития микроэлектроники.

ГРНТИ

29.27.51 Применение плазмы

55.20.15 Обработка потоками энергии

29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела

Ключевые слова

ФОРВАКУУМНЫЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ ИСТОЧНИК

ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ ИСПАРЕНИЕ

АЛЮМООКСИДНЫЕ И АЛЮМОНИТРИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ

ТЕПЛООТВОД ОТ МИКРОСБОРОК.

Детали

Начало

24.07.2018

Окончание

16.07.2021

№ контракта

18-29-11011\18

Заказчик

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "РОССИЙСКИЙ ФОНД ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ"

Исполнитель

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"

Бюджет

Средства фондов поддержки научной и (или) научно-технической деятельности: 3 000 000 ₽

ИКРБС

№ АААА-Б19-219111190002-5, № 221031600305-3

Похожие документы

Электронно-лучевое нанесение теплопроводящих керамических покрытий для устройств микроэлектроники (промежуточный 2018)

0.960

ИКРБС

Электронно-лучевое нанесение функциональных керамических покрытий в форвакуумной области давлений.

0.945

НИОКТР

Электронно-лучевое нанесение теплопроводящих керамических покрытий для устройств микроэлектроники. (промежуточный, второй год)