Исследование электрофизических и газочувствительных свойств полупроводниковых тонких пленок на основе оксидов индия и галлия

Проект направлен на изучение свойств смешанных оксидных систем, используемых в качестве материала чувствительных слоев в микроэлектронных газовых сенсорах. Цель научно-исследовательской работы – исследование влияния условий получения и соотношения компонентов на электрофизические и газочувствительные свойства полупроводниковых тонких пленок на основе оксидов индия и галлия.Задачи, которые предстоит решать:1.Разработка метода получения полупроводниковых тонких пленок на основе оксидов индия и галлия с регулируемым соотношением компонентов. 2.Исследование влияния соотношения компонентов на электрофизические свойства полупроводниковых тонких пленок на основе оксидов индия и галлия. 3.Исследование влияния соотношения компонентов на газочувствительные свойства полупроводниковых тонких пленок на основе оксидов индия и галлия.