Форвакуумный плазменный источник электронов на основе дугового разряда для электронно-лучевой и ионно-плазменной модификации протяженных диэлектрических изделий

Появление новых и всеобъемлющее использование хорошо известных диэлектрических материалов требует расширения номенклатуры методов их обработки, в том числе обработки больших поверхностей. Использование хорошо известных методов механической, химической и других обработок не всегда оправдано, а иногда не дает необходимого результата. Электронно-лучевые и ионно-плазменные методы модификации поверхностных и объемных свойств диэлектрических материалов имеют ряд преимуществ (перед традиционными), таких как, экологичность и широкий диапазон режимов ведения процесса. Это позволяет рассматривать такие методы модификации материалов в качестве реальной альтернативы существующим. Цель проекта состоит в исследовании процессов генерации форвакуумными плазменными источниками на основе дугового разряда импульсных широкоапертурных электронных пучков с высокой однородностью распределения плотности тока, обеспечивающих возможность эффективной электронно-лучевой и ионно-плазменной модификации протяженных диэлектрических изделий. В ходе выполнения проекта будут: - определены условия формирования протяженной эмиссионной поверхности плазмы дугового разряда с параметрами, обеспечивающими высокую степень однородности электронного пучка (неоднородность плотности тока не более 10 %); - оптимизированы геометрия и параметры систем формирования и ускорения широкоапертурного электронного пучка, обеспечивающие в области его транспортировки сохранение высокой степени равномерности плотности тока пучка;- измерены параметры и исследованы характеристики объемной плазмы, генерируемой электронным пучком;- изучены свойства и характеристики диэлектриков после воздействия широкоапертурного электронного пучка и пучковой плазмы.Все указанные результаты будут получены впервые и будут иметь научную значимость для генерации пучков в области повышенных давлений (форвакуумный диапазон) и их взаимодействия с протяженными диэлектрическими изделиями.