Разработка методов производства инерциальных датчиков на поверхностных акустических волнах с применением лазерных технологий

Объектом исследования являются технологии лазерного нанесения структур электродов для сенсоров на поверхностных акустических волнах Целью работы является создание необходимой технологической базы для интенсификации и существенного удешевления процесса разработки инерциальных микродатчиков (гироскопов и акселерометров). Методы решения задач научного исследования: Для исследования процессов взаимодействия лазерного излучения с тонкими металлическими пленками будет применяться мультифизическое моделирование в программной среде OOFELIE::Multiphysics. Для изготовления образцов чувствительных элементов будет использоваться установка МиниМаркер2, а для их испытаний набор лабораторного измерительного оборудования: источник питания GwInstek PSM-6003, спектроанализатор GwInstek GSP-827, осциллограф GwInstek GOS-6200, Микроскоп Levenhuk D870T. Для испытания макетов инерциальных датчиков будет использован вращательный стенд СОА-1.Ожидаемые результаты: 1. Развитие теоретических принципов применения лазерных технологий позволит получить необходимый математический аппарат для выбора оптимальных режимов работы лазерной установки с целью повышения качества изготовления чувствительных элементов ПАВ-сенсоров. 2. Серия тестовых чувствительных элементов, произведенных с помощью предлагаемого метода. 3. Оптимизированные топологии чувствительных элементов микрогироскопов на ПАВ. 4. Макетные образцы микрогироскопов на ПАВ. Область применения: Системы управления и навигации высокоскоростных подвижных объектов.