Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения

Работа посвящена исследованию физико-химических процессов в низкотемпературной плазме, создаваемой СВЧ излучением сантиметрового и миллиметрового диапазонов длин волн. Одной из основных задач работы является разработка физических основ применения такой плазмы в технологии газофазного синтеза (CVD – chemical vapor deposition) углеродных материалов. Проводимые работы предполагают проведение экспериментальных исследований условий синтеза алмазных пленок из газовой фазы в многокомпонентных газовых смесях в плазме микроволнового разряда; диагностику параметров плазмы и химически активных радикалов, численное моделирование СВЧ разряда и кинетики плазмохимических процессов, выращивание нано-, микро- и монокристаллических алмазных пленок, изучение их свойств, разработку технологических приемов получения алмазных пленок, обладающих полупроводниковыми свойствами и высокими эмиссионными свойствами.