Разработка алгоритмов решения обратной задачи контроля процессов напыления оптических нанопокрытий..

Разработка эффективных алгоритмов решения обратных задач контроля процесса напыления оптических нанопокрытий является ключевой проблемой для дальнейшего совершенствования наиболее сложных покрытий с десятками и сотнями слоев, являющимися важнейшими элементами для практически всех современных систем в оптике, оптоэлектронике, лазерной технике, телекоммуникационной технике, лазерной литографии и многих других высокотехнологичных областях. Актуальность этой проблемы определяется тем, что, с одной стороны, потребности в наиболее сложных многослойных покрытиях с уникальными спектральными свойствами постоянно растут, а, с другой стороны, тем, что новейшие достижения в технологиях напыления покрытий и в развитии систем контроля процесса напыления обеспечивают потенциальную возможность существенного повышения точности контроля данного процесса за счёт применения новых эффективных алгоритмов обработки данных измерений в режиме on-line. Научная новизна проекта состоит в том, что алгоритмы решения обратных задач контроля процесса напыления будут ориентированы на использование принципиально новых схем оптического контроля (мониторинга), которые стали возможными в самое последнее время благодаря существенному продвижению в развитии аппаратной базы систем оптического мониторинга. Помимо этого, в рамках проекта впервые ставится вопрос о разработке математического аппарата для априорной оценки перспективности различных методов оптического мониторинга и сравнения их ожидаемой эффективности.