Разработка технологии изготовления чувствительных элементов для датчиков на магниторезистивном эффекте

10.10.2019

Объект исследования: преобразователь магнитного поля, обеспечивающий регистрацию магнитного поля.Цель проекта: разработка отечественного преобразователя магнитного поля на основе тонкой магниторезистивной пленки. Выполненные работы позволят обеспечить создание отечественного преобразователя магнитного поля с последующим обеспечением импортозамещения зарубежных аналогов.

ГРНТИ

50.09.37 Датчики и преобразователи

47.14.07 Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

Ключевые слова

МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ СЕНСОР

СЕНСОР МАГНИТНОГО ПОЛЯ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МАГНИТНОГО ПОЛЯ

МЭМС-СЕНСОР

ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ

Детали

Начало

13.12.2018

Окончание

30.06.2019

№ контракта

Договор № 14/1251/2018

Заказчик

ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ

Исполнитель

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"

Бюджет

Средства федерального бюджета: 1 700 000 ₽

ИКРБС

№ АААА-Б19-219111890040-0, № АААА-Б19-219111990028-7

Похожие документы

Научно-исследовательские работы по созданию технологии изготовления чувствительных элементов для датчиков на магниторезистивном эффекте

Разработка преобразователя магнитного поля на основе тонкопленочной магниторезистивной структуры

0.937