НИОКТР
№ АААА-А19-119101490083-3Разработка технологии изготовления интегрированных сенсоров линейного ускорения частотного типа (ИСЛУ). Моделирование конструкции ИСЛУ.
11.10.2019
Объектом разработки является интегрированный сенсор линейного ускорения.Цель работы: разработка технологии изготовления интегрированных сенсоров линейного ускорения частотного типа (ИСЛУ).Метод работы заключался в анализе уровня существующих разработок по тематике работы, выбор направления исследований, анализе возможных путей решения задачи, выборе наиболее подходящих решений и проведении моделирования.Результаты работы: анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме, результаты моделирования ИСЛУ.
ГРНТИ
47.14.07 Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Ключевые слова
МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР
МЭМС
ИНТЕГРИРОВАННЫЙ СЕНСОР ЛИНЕЙНОГО УСКОРЕНИЯ
Детали
Начало
13.12.2018
Окончание
30.06.2019
№ контракта
Договор № 14/1251/2018
Заказчик
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
Исполнитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
Бюджет
Средства федерального бюджета: 1 900 000 ₽
Похожие документы
Научно-исследовательские работы по созданию технологии изготовления интегрированных сенсоров линейного ускорения частотного типа (ИСЛУ). Модулирование конструкции ИСЛУ.
0.986
ИКРБС
Моделирование чувствительного элемента ИСЛУ. Разработка комплекта ЭКД на макетный образец ИСЛУ
0.946
ИКРБС
Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности
0.911
Диссертация
Разработка конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров линейных ускорений и угловых скоростей. Моделирование конструкции экспериментальных образцов многоосевых интегральных сенсоров. Анализ результатов моделирования конструкции экспериментальных образцов.
0.910
ИКРБС
Экспериментальные исследования методики проектирования интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС), объединяющих функции сенсорных, управляющих и исполнительных элементов
0.908
ИКРБС
"Разработка датчика линейного ускорения стратегического класса на основе теплового МЭМС-преобразователя"(контракт № 17ГРНТИС5/26007)Этап № 4 "Разработка программ и методик исследовательских испытаний экспериментальных образцов МЭМС ДЛУ. Разработка стенда для проведения исследовательских испытаний экспериментальных образцов МЭМС ДЛУ. Изготовление стенда для проведения исследовательских испытаний экспериментальных образцов МЭМС ДЛУ. Проведение исследовательских испытаний экспериментальных образцов МЭМС ДЛУ. Доработка ЭКД на МЭМС ДЛУ по результатам испытаний. Доработка лабораторного технологического регламента изготовления МЭМС ДЛУ."
0.904
ИКРБС
Разработка датчика линейного ускорения стратегического класса на основе теплового МЭМС-преобразователя
0.898
НИОКТР
Моделирование в системах САПР (Solid Works, AutoCAD) чувствительного элемента акселерометра. Расчет надежности конструкции и технологического маршрута изготовления. Изготовление экспериментального образца датчика ускорения (изготовление шаблонов для литографии, травления, отмывка, резка, микросборка). Проведение предварительных испытаний
0.895
ИКРБС
Разработка конструкции, изготовление и технологии производства унифицированных микроакселерометров на различные диапазоны измеряемых величин для устройств инерциальных навигационных систем на их основе
0.893
ИКРБС
Разработка сенсорных элементов на основе технологий интегральной оптики и микросистемной техники, интегрированных с волоконно-оптическими линиями связи
0.893
НИОКТР