Многослойные структуры на основе сегнетоэлектрических пленок цирконатов-титанатов и станнатов-титанатов бария для сверхвысокочастотных применений

Проект направлен на изучение физико-химических процессов, протекающих при формировании многокомпонентных сегнетоэлектрических пленочных материалов на основе цирконатов-титанатов и станнатов-титанатов бария, и разработку основ технологии создания многослойных сверхвысокочастотных устройств на их основе. В проекте планируются: исследование процессов кристаллизации пленок твердых растворов цирконатов-титанатов и станнатов-титанатов бария на диэлектрических и проводящих слоях; исследование механизмов дефектообразования в объеме пленки и на границах раздела многослойных структур; структурирование пленки в процессе роста (управление параметрами ячейки, компонентным и фазовым составом) с целью согласования кристаллических решеток пленок и подложек/подслоев и минимизации дефектов структуры в объеме пленки и на границах раздела и достижения наилучших электрофизических характеристик материала; создание технологии многослойных сверхвысокочастотных структур на основе структурированных сегнетоэлектрических пленочных материалов. В результате реализации проекта планируется создание основ технологии многослойных сегнетоэлектрических структур, что откроет возможности для разработки сверхвысокочастотных устройств с характеристиками (вносимые потери, температурная стабильность, быстродействие, мощностные характеристики), принципиально лучшими по сравнению с существующими аналогами.