НИОКТР
№ АААА-А19-119101590055-9

Разработка сенсорных элементов на основе технологий интегральной оптики и микросистемной техники, интегрированных с волоконно-оптическими линиями связи

14.10.2019

Объектом разработки является датчик вибраций. Цель работы: разработка технологии изготовления датчиков вибраций.Результаты работы: анализ научно-технической литературы, анализ возможностей фирм работающих в области создания МЭМС (МОЭМС), нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме, результаты моделирования распространения света в плоских волноводах. Разработка и изготовление макетного образца оптического датчика вибрации (на других принципах) и измерение (изучение) характеристик на стенде.
ГРНТИ
50.09.37 Датчики и преобразователи
47.35.41 Волоконнооптические системы. Приборы на основе волоконной оптики
Ключевые слова
ОПТИЧЕСКИЙ ДАТЧИК
СЕНСОР ВИБРАЦИИ
ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЙ
МЭМС
МОЭМС
Детали

Начало
13.12.2018
Окончание
30.06.2019
№ контракта
Договор № 14/1251/2018
Заказчик
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
Исполнитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
Бюджет
Средства федерального бюджета: 500 000 ₽
Похожие документы
Портативный оптоэлектронный датчик вибрации на основе автодинного эффекта в лазерных диодах
0.913
НИОКТР
Разработка технологии производства чувствительных элементов сенсоров технических средств и систем восприятия, распознавания и взаимодействия с реальным миром
0.910
НИОКТР
Разработка технологии плазменного травления для изготовления чувствительных микромеханических элементов сенсоров угловой скорости (МЭМС-УС)
0.902
НИОКТР
Разработка конструкторско-технологических способов создания микроэлектромеханического датчика угла наклона
0.896
Диссертация
Разработка и создание твердотельных микро- и наносенсоров для обеспечения безопасности движения транспортных средств
0.896
ИКРБС
Моделирование в системах САПР (Solid Works, AutoCAD) чувствительного элемента акселерометра. Расчет надежности конструкции и технологического маршрута изготовления. Изготовление экспериментального образца датчика ускорения (изготовление шаблонов для литографии, травления, отмывка, резка, микросборка). Проведение предварительных испытаний
0.895
ИКРБС
Разработка технологии изготовления интегрированных сенсоров линейного ускорения частотного типа (ИСЛУ). Моделирование конструкции ИСЛУ.
0.893
НИОКТР
Исследование и разработка высокочувствительных волоконно-оптических сенсорных систем для измерения абсолютных и относительных деформаций, а также сейсмических и акустических полей, с использованием неселективных спектральных отражателей и фемтосекундных лазерных источников излучения
0.892
ИКРБС
Разработка датчика линейного ускорения стратегического класса на основе теплового МЭМС-преобразователя
0.891
НИОКТР
Разработка базовых конструкций чувствительных элементов и микроэлектромеханических систем для измерения угловой скорости и угла наклона на различные диапазоны измеряемых величин для комплексов мониторинга безопасности объектов
0.890
ИКРБС