Разработка метода низкотемпературного нанесения нанокристаллических корундовых покрытий реакционным анодным испарением алюминия в дуге низкого давления

В проекте предполагается разработка нового метода низкотемпературного нанесения нанокристаллических покрытий из высокотемпературной альфа-фазы оксида алюминия реакционным анодным испарением алюминия в дуге низкого давления. Метод позволит с высокой скоростью наносить покрытия, обладающие уникальным сочетанием свойств, таких как химическая инертность, высокая твердость и стойкость к износу, способность замедлять процессы диффузии и повышать жаростойкость покрытий, высокая теплопроводность в сочетании с высокими электроизоляционными свойствами. Барьерные слои и защитные покрытия с такими свойствами востребованы в космической и авиационной промышленности. Имеется потребность в хирургическом инструменте с биосовместимым покрытием, которое выдерживает обработку и стерилизацию при высоких температурах в химически активных средах. Научная значимость решения проблемы заключается в проведении систематических исследований по определению условий на поверхности мишени, в плазме, и на поверхности растущего покрытия, которые обеспечивают формирование α-фазы оксида алюминия. До настоящего времени таких комплексных исследований не проводилось, что обусловлено сложностью проблемы и ограниченными возможностями управления параметрами процесса осаждения покрытия при использовании существующих методов нанесения α-Al2O3 - покрытий.