-Разработка твердотельных тонкопленочных 3D литий-ионных аккумуляторов для микроминиатюрных устройств интегральной электроники, гибкой электроники и микросистемной техники.

Цель выполнения проекта состоит в разработке экологически чистых технологий производства портативных и безопасных твердотельных химических источников тока. В процессе выполнения проекта планируется: Проведение пробных экспериментов по формированию 3D структур на кремнии методом плазмохимического травления, Разработка конструкции и топологии макета тонкопленочного ТТЛИА в 3D исполнении, Отработка лабораторной технологии нанесения твёрдого электролита LiPON на тонкопленочные электроды состава: Si-O-Al, LixV2O5, LiFePO4, Li(1+а)NibMncCoO(2-δ) (далее NMC). Ожидаемые результаты выполнения исследований: Программа и методика испытаний макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении, Испытания макетов тонкопленочных ТТЛИА в планарном исполнении и внесение корректировок в конструкцию, топологию и технологический маршрут их изготовления (при необходимости). Испытания макетов тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении и внесение корректировки в конструкцию, топологию и технологический маршрут их изготовления (при необходимости). Технологический маршрут формирования высокоаспектной 3D-структуры на поверхности кремния методом плазмохимического травления. Программа и методики испытания макетов тонкопленочных ТТЛИА в 3D исполнении.