Разработка, изготовление и испытание прототипа течеискателя на основе масс – чувствительных пьезорезонансных сенсоров

В рамках реализации данного проекта стоит задача создания течеискателей, имеющих:- малые габариты, но при этом обеспечивающих чувствительность на уровне масс- спектрометрических устройств, и поэтому применимых для решения задач в космической и атомной отраслях в режимах атмосферных (на гелии, а также на технологическом пробном веществе) и вакуумных (на гелии) испытаний;- технические характеристики, позволяющие использовать, прежде всего атмосферную модификацию, в различных отраслях (химической, газовой, холодильной и др.), для оценки величины течи и локализации места утечки.В основе технологий, планируемых к применению при создании течеискателей, лежат масс – чувствительные сенсоры на поверхностной и объемной акустических волнах (ПАВ- и ОАВ-сенсоры). Согласно лабораторным испытаниям, ПАВ-сенсоры имеют чувствительность к потоку гелия порядка 5х10-9 мЗ *Па/с, также к потокам хладонов порядка 10-8 мЗ *Па/с, а ОАВ – сенсоры 10-7 – 10-8 мЗ *Па/с к потокам различных технологических веществ – например аммиака, сероводорода, гептила и др.В ходе реализации проекта будет создан прибор, чувствительность которого позволит осуществлять контроль герметичности и обнаружения течей не менее 5х10-9 мЗ *Па/с в режиме камерных вакуумных испытаний по гелию и до 10-8 мЗ *Па/с в режиме щупа по гелию и другим (в том числе технологическим) газам.