Развитие методов синтеза рельефно-фазовых поверхностных структур и оптических элементов на их основе

В настоящее время, активно развивается ряд направлений фотоники, где минимальные размеры структуры должны быть существенно меньше половины длины волны света на рабочей длине волны. Примером таких направлений являются дифракционные и интегрально-оптические элементы на основе мета-материалов и мета- поверхностей, субволновая дифракционная оптика. Таким образом, в настоящее время актуальным является поиск экономически- эффективных методов формирования нано- структурированных элементов фотоники, имеющих минимальные размеры элементов структуры вплоть 100-200 нм. В данном проекте планируется разработка технологий и научно-технических решений для создания -микро и -нано структур на пленках и в объеме. Для этого требуется изучить свойства новых термохимических и фоторезистивных материалов, пригодных для формирования таких структур, а также создать методы и измерительные системы для контроля их параметров в процессе изготовления и после него. Планируется создать ряд высокоточных систем записи. Также в проекте планируется разработать и исследовать методы использования оптики с микро- и нано- структурированными поверхностями в задачах высокоточных оптических измерений и формирования лазерных пучков заданной формы. В частности, решить задачу существенного снижения погрешностей синтеза эталонных дифракционных однокомпонентных объективов с диафрагменным числом до F/1 и более за счет компенсации влияния поляризационных эффектов для дифракционных структур с периодом порядка длины волны света.