Ионно-плазменная модификация внутренних поверхностей узких протяженных трубчатых изделий в системе несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом, поддерживаемого электронным пучком в форвакуумной области давлений

Проект направлен на решение научной проблемы генерации плотной однородной газовой плазмы внутри узких полостей трубчатых металлических изделий для осуществления процессов ионно-плазменной обработки их внутренних поверхностей. Актуальность решения данной проблемы связана с тем, что процессы обработки мелкогабаритного инструмента и изделий, содержащих узкие протяженные полости, методами ионно-плазменной обработки все еще испытывают значительные затруднения. Поэтому стремление к повышению эксплуатационных характеристик и ресурса таких изделий требует поиска новых научных подходов, на что и направлен данный проект. Идея, лежащая в основе проекта, состоит в генерации плотной плазмы в ограниченных объемах посредством несамостоятельного тлеющего разряда, инициируемого и управляемого низкоэнергетичным электронным пучком. в условиях повышенных давлений форвакуумного диапазона (3-100 Па) При этом электронный пучок, наряду с осуществлением эффективной ионизации, обеспечивает также процессы замыкания разрядного тока. Привлекательность данного подхода связана с возможностью проведения ионно-плазменной модификации внутренних поверхностей протяженных металлических трубчатых изделий. Переход в данный диапазон давлений для электронно-пучковых технологий стал целесообразен лишь благодаря развитию так называемых форвакуумных плазменных источников электронов, способных производить генерацию электронного пучка непосредственно в указанной области давлений. Эта область давлений является оптимальной для эффективной ионизации газовой среды в области распространения электронного пучка. В то же время при данных давлениях процессы рассеяния электронов не столь интенсивны, чтобы приводить к расфокусировке пучка, что принципиально при его прохождении через узкую полость. Сформулированные в проекте задачи исследования, а, именно, изучение процессов транспортировки сфокусированного электронного пучка в ограниченном объеме протяженных трубчатых изделий, инициирования и поддержания специфической формы тлеющего разряда в узкой протяженной полости и применение разрядной плазмы для ионно-плазменной обработки внутренних поверхностей узких протяженных металлических трубчатых изделий при повышенных давлений форвакуумного диапазона, будут решаться впервые.