Структура и границы раздела многослойных композиций на основе перовскитных пленок для микро- и наноэлектроники

Оксиды со структурой перовскита обладают уникальными физическими свойствами, обеспечивающими их широкое применение в микроэлектронике. Свойства перовскитов являются структурно чувствительными, что позволяет управлять ими за счет воздействия на кристаллическую структуру, но требует установления взаимосвязи созданных структурных неоднородностей на физические характеристики. Целью исследований является анализ структуры и особенностей формирования перовскитных композиций Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/LaNiO3/Si и пористых пленок PZT, полученных методом химического осаждения из растворов. Впервые будут исследованы химическая и структурная неоднородности в пределах нанозерен и дефекты кристаллического строения композиций Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/LaNiO3/Si с новым электродом – никелатом лантана. Будут выявлены особенности пористой структуры пленок цирконата-титаната свинца при добавлении различных порогенов в раствор прекурсоров, в том числе додецилового эфира полиэтиленгликоля, воздействие которого на формирование структуры Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 ранее не было исследовано. Кроме того, впервые будет визуализирована 3D-структура сегнетоэлектрических нанокомпозитов, полученных путем заполнения пор цирконата-титаната свинца различными функциональными материалами. Полученные результаты позволят углубить понимание механизмов явлений, происходящих на границах раздела и в толще слоёв композиций, закономерностей формирования пористой структуры при варьировании структурообразующих агентов и возможности её заполнения различными материалами, а также оценить роль выявленных особенностей при формировании физических свойств исследованных материалов.