Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения

Объект исследования: технология изготовления матрицы МЭМС элементов динамической маски на основе новых материалов и наноструктур с применением экспериментальных методов исследования на базе источника синхротронного излучения. Цель: реализация Исследовательской программы по разработке и исследованию перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения. В результате выполнения проекта будут разработаны ключевые научно-методические и технологические принципы использования синхротронного излучения в качестве инструмента как для проведения процессов безмасочной рентгеновской нанолитографии, так и в качестве средства диагностики и исследования перспективных материалов и наноструктур для создания новой электронной компонентной базы и построения рентгенолитографической системы, обеспечивающей продвижение технологии отечественной наноэлектроники к уровню 20 нм и ниже.