НИОКТР
№ 121112200135-7Разработка новой технологии изготовления и создание сверхпроводниковых наногетероструктур с прослойками из оксидов, нитридов и топологических изоляторов
17.11.2021
Проект направлен на создание технологии и технологической базы для сверхпроводниковой наноэлектроники. Для достижения запланированных результатов проекта в процессе работы у российского участника будет оборудована технологическая чистая комната для изготовления субмикронных туннельных наноструктур. Будет разработана технология изготовления и прототип СВЧ сквид усилителя бегущей волны гигагерцового диапазона. Будет разработана топология СИНИС детектора. Будут разработаны гибридные гетероструктуры, содержащие границы разделов (интерфейсы) между купратным сверхпроводником и материалом с высокой энергией спин-орбитального взаимодействия. Совместно с партнерами из Швеции будет разработана и реализована технология изготовления туннельных структур на основе пленок ниобия с использованием магнетронного распыления и прямой электронной литографии, технология создания барьерного слоя на основе оксидов, нитридов, топологических изоляторов.
ГРНТИ
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
Ключевые слова
электронная литография
магнетронное распыление
нанолитография
тонкие пленки
болометры
сквиды
барьерные прослойки
топологические изоляторы
туннельные переходы
микроэлектроника
гибридные гетероструктуры
сверхпроводниковые наногетероструктуры
Детали
Начало
23.09.2021
Окончание
31.12.2021
№ контракта
075-15-2021-990
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А.Котельникова Российской академии наук
Бюджет
Средства федерального бюджета: 10 000 000 ₽
ИКРБС
Похожие документы
Разработка новой технологии изготовления и создание сверхпроводниковых наногетероструктур с прослойками из оксидов, нитридов и топологических изоляторов
0.937
ИКРБС
Создание инновационной технологии получения новых сверхпроводниковых наноматериалов с конкурентоспособными параметрами для изготовления чиповых криогенных устройств различного функционального назначения. Обобщение результатов исследований. Анализ полученных данных и разработка рекомендаций
0.933
ИКРБС
Разработка и исследование новых полупроводниковых, сверхпроводниковых, магнитных материалов и структур на их основе для микро- и наноэлектроники
0.929
НИОКТР
Разработка элементов сверхпроводниковых квантовых схем
0.927
НИОКТР
Сверхпроводящие гибридные структуры и метаматериалы для элементов квантовой электроники
0.927
НИОКТР
Разработка новой элементной базы цифровой сверхпроводниковой электроники с магнитными материалами
0.924
НИОКТР
Разработка и исследования новых сверхпроводниковых, магнитных, полупроводниковых материалов и структур для микро- и наноэлектроники
0.923
ИКРБС
-Разработка и исследования новых сверхпроводниковых, магнитных, полупроводниковых материалов и структур для микро- и наноэлектроники
0.922
НИОКТР
Разработка и исследование новых полупроводниковых, сверхпроводниковых, магнитных материалов и структур на их основе для микро- и наноэлектроники
0.921
ИКРБС
Твердотельные наноструктуры для компонентной базы информационных технологий
0.921
НИОКТР