Экспериментальное изучение процессов растекания жидких фаз по поверхности кремния и его соединений

В работе рассматриваются вопросы формирования и миграции расплавленных зон в процессе электрического разрушения тонких пленок алюминия и меди на поверхности кремния (в том числе с тонкими подслоями оксида и нитрида кремния). Будет выявлено различие в механизмах формирования и миграции оплавленных зон на поверхности в процессе прохождения токового импульса и после его отключения. Будет изучена миграционные процессы после отключения импульса тока и роль в этом процессе градиента температуры вблизи локального теплового источника. По размерной зависимости скорости перемещения будут получены значения температурных градиентов и проведена оценка коэффициента термоупругости, определяющего динамику миграции зон в поле градиента температур.