Фундаментальные основы построения нано – и микросистем радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ диапазона на основе тонкопленочных пьезоэлектрических структур, формируемых плазмохимическими и ионно-плазменными методами

Дальнейшее развитие радиотехнических устройств и систем связи и передачи данных определяется в первую очередь расширением их частотного диапазона в сторону сверхвысоких частот (СВЧ) в диапазоне от единиц до нескольких десятков гигагерц и связано с совершенствованием существующих и созданием новых функциональных элементов, осуществляющих частотную селекцию и генерацию сигналов. Современные технические решения в этой области основываются на использовании комбинации результатов фундаментальных исследований и технологических достижений в области микросистемной техники, пьезоэлектроники, материаловедения и нанотехнологий. Перспективным направлением в создании устройств частотной генерации и селекции СВЧ сигналов является использование в их конструкции микроэлектронных резонаторов на объемных (ОАВ) и поверхностных (ПАВ) акустических волнах. Основным элементом резонаторов является пьезоэлектрический преобразователь, представляющий собой трехслойную тонкопленочную структуру металл-пьезоэлектрик-металл. Моделирование и конструирование новых тонкопленочных пьезоматериалов на основе нитрида алюминия (AlN), как основы разработки пьезоэлектрического преобразователя, с использованием метода реактивного магнетронного формирования пленок являются актуальными направлениями исследований.